【簡(jiǎn)介：】真空技術(shù)是電子管制、半導(dǎo)體提純等電子領(lǐng)域必不可少的一項(xiàng)技術(shù)。它被廣泛地應(yīng)用于各種精密儀器的生產(chǎn)制造上，通常情況下，壓強(qiáng)在10-3-10-8乇（真空單位，乇=1毫米汞柱的壓強(qiáng)）的稱為

真空技術(shù)是電子管制、半導(dǎo)體提純等電子領(lǐng)域必不可少的一項(xiàng)技術(shù)。它被廣泛地應(yīng)用于各種精密儀器的生產(chǎn)制造上，通常情況下，壓強(qiáng)在10-3-10-8乇（真空單位，乇=1毫米汞柱的壓強(qiáng)）的稱為高真空，小于10-8乇的稱為超高真空。1976年10月，奧森研究中心的湯姆遜利用極低溫度使氣體冷凝，然后將冷凝的氣體從真空泵系統(tǒng)里除去的方法，獲得了真空為10-14的數(shù)量級(jí)，創(chuàng)造了最高真空的世界紀(jì)錄。